半導(dǎo)體行業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)設(shè)備的要求非常高，需要高精度控制、高一致性、高可靠性，以超精密的方式進(jìn)行納米級別芯片的生產(chǎn)，這給設(shè)備制造商帶來了獨(dú)特的挑戰(zhàn)?？浦Z致力于為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級貢獻(xiàn)自己的力量，研發(fā)生產(chǎn)出了高精度智能化電源，目前科諾生產(chǎn)的一拖二高精度IGBT感應(yīng)加熱電源已大量應(yīng)用于常壓化學(xué)氣相沉積（APCVD）領(lǐng)域，高精度射頻電源應(yīng)用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）領(lǐng)域，高精度IGBT感應(yīng)加熱電源已出口臺灣地區(qū)，廣泛應(yīng)用于碳化硅晶體生長、半導(dǎo)體氧化擴(kuò)散（Oxide/Diff）等領(lǐng)域。
一拖二高精度IGBT感應(yīng)加熱 碳化硅晶體生長電源
